微量型超純水系統(tǒng)是一種用于制備超純水的設(shè)備，其產(chǎn)水水質(zhì)較高，適用于對水質(zhì)要求較為嚴(yán)格的場合。

　　微量型超純水系統(tǒng)的工作原理主要基于物理過濾、膜分離和離子交換等技術(shù)，通常采用多級處理工藝，主要包括預(yù)處理、反滲透、離子交換和終端處理四個(gè)主要階段：

　　預(yù)處理：去除水中的大顆粒、懸浮物和部分有機(jī)物，為后續(xù)處理打下基礎(chǔ)。常見的預(yù)處理系統(tǒng)由石英砂過濾器、活性碳過濾器和精密過濾器組成。當(dāng)原水中硬度較高時(shí)，還會(huì)使用全自動(dòng)軟水器來降低水的硬度，以保護(hù)后續(xù)的反滲透膜。

　　反滲透：利用反滲透膜去除水中的大部分離子物質(zhì)和大分子物質(zhì)，提高水的純度。反滲透膜的孔徑極小，能高效截留細(xì)菌、病毒、重金屬及有機(jī)物，脫鹽率通常≥98%。

　　離子交換：進(jìn)一步去除水中的微量離子，使水質(zhì)達(dá)到更高的純度。其原理是利用陽離子交換樹脂去除水中的陽離子并釋放H+，陰離子交換樹脂去除陰離子并釋放OH-，結(jié)合生成純水。

　　終端處理：通過超濾、紫外線殺菌等技術(shù)，去除水中的微生物、有機(jī)物等殘留雜質(zhì)，確保超純水的質(zhì)量。

　　該設(shè)備能產(chǎn)出電阻率達(dá)到 18.2MΩ?cm 以上的超純水，金屬離子含量可低至 ppb 甚至 ppt 級別，TOC 含量也極低，還能有效去除微生物、熱源等雜質(zhì)。采用模塊化設(shè)計(jì)，濾柱等耗材更換便捷，且具有耗材壽命管理功能，可實(shí)時(shí)顯示耗材使用狀態(tài)，提醒用戶及時(shí)更換。